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隨著SF6氣體絕緣層在充氣柜中運用的總數逐漸上升，及其運作穩定性，在供電系統中的運用正廣泛發展，缺點和安全隱患根本在出產加工、原廠試驗、作業奉告及運作保護保養等各階段中就被發覺和根除，但是依舊難以避免了各類安全事故的重復發生，SF6氣體絕緣層的電器設備發生漏氣的狀況仍在所難免，是難以完全避免的疑難問題。

氣體絕緣層的充氣柜電器設備發生泄露的主要原因包括：出產工藝流程問題，機殼上帶沙孔，橡膠密封件質量較差；當場安裝質量不高，突面處理不及時；機器設備運作中發生顫抖，如電源開關分與合、變電器運作中的顫抖，橡膠密封件脆化等原因。

肥皂泡法檢測法

在疑是點擦抹肥皂液，觀查是不是行程氣泡，上述分辯充氣柜是不是存有SF6氣體泄露。

利益和缺點

查驗方法簡易，不用寶貴儀器設備，但查驗精密度差，查驗具有片面性，查驗期長不宜普測。

包扎法檢測法

在疑是點捆扎包裝袋，靜放要求的時間后選用定量分析檢查儀查驗捆扎方位的SF6氣體濃度值來分辯是不是漏氣。

利益和缺點

能夠堅持定量分析查驗，但十分簡略遭受作業溫度、規范氣壓、捆扎包裝袋容積、查驗儀器等的危害。

真空泵法檢測法

針對并未鼓勁的SF6氣體絕緣層的電器設備，將機器設備各一部分真空包裝至約133Pa，并靜放4h及左右，依據查驗真空值下降是否差異是不是漏氣。

利益和缺點

適用原廠查驗，不能夠堅持感應起電檢測，運用的束縛很大。

鹵化物測定法檢測法

運用金屬材料鉑的“鹵素成效”差異檢測點是不是漏氣。

利益和缺點

能夠定量分析測算出泄露點的泄露速率、氣體濃度值等實踐主要參數，準確查驗精密度不高。

超音波法檢測法

在溫度、氣體壓強相同的規范下，求待測氣體濃度值便可轉化可求涂料廢氣均值聲速的難題，選用相位差法測聲速，即在發射點超音波的其他剛開始單脈沖記數，直至充氣柜查驗到雷達回波數據信號的高低值超出必定閥值后中止記數，再與記數周期時間乘積便到超聲波散播時間，固定不動的散播距離除于該時間就是聲速。